《超硬質納米複合膜及其低溫沉積技術研究》是依託上海交通大學，由李鑄國擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：超硬質納米複合膜及其低溫沉積技術研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：李鑄國
- 依託單位：上海交通大學
- 批准號：50572063
- 申請代碼：E0203
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2006-01-01 至 2008-12-31
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
超硬質納米復膜是一類硬度可以達到或超過金剛石的新型保護薄膜彩，具有很好的套用前景，近年來應起了世界範圍內的廣泛關注。但是，目前硬度可比金剛石的超硬質納米複合膜僅能採用PACVD方法合成，而且超硬機理不明。基於保護環境的理由，低溫物理氣相沉積方法更適合於大規模工業合成。本項目的主要研究目標就是：採用物理氣相沉積技術低溫合成具有低殘應力的和具有等軸結構的超硬質納米複合膜。擬採用內置式誘導型耦合電漿
