《超淺結電漿摻雜的分子動力學模擬研究》是依託北京大學，由任黎明擔任負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：超淺結電漿摻雜的分子動力學模擬研究
- 項目負責人：任黎明
- 項目類別：面上項目
- 依託單位：北京大學
- 批准號：61076095
- 項目名稱：超淺結電漿摻雜的分子動力學模擬研究
- 申請代碼：F0406
- 負責人職稱：講師
- 研究期限：2011-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：16（萬元）
項目摘要
隨著積體電路技術的飛速發展，傳統的離子束注入技術已經越來越難以滿足器件尺寸日益縮小對超淺結工藝的要求。電漿摻雜技術具有極低注入能量、高劑量率、大尺寸、高產量等優點，有利於規模生產，因此具有良好的套用前景，有望成為下一代超淺結摻雜技術，最近幾年日益成為研究熱點。然而目前大部分研究工作都集中在實驗方面，尚缺乏建模與模擬方面的相關研究。在深入研究離子體摻雜過程物理機制的基礎上，建立準確高效的物理模型和局域化的分子動力學模擬方法，開發電漿摻雜工藝模擬軟體。為了驗證所建立的物理模型和模擬算法的正確性，將模擬結果與從國外合作機構及文獻中獲得的實驗數據進行對比，不斷改進模型和算法。這種納米尺度下複雜物理過程的建模與模擬研究是一個具有挑戰性的前沿課題，具有非常重要的科學研究意義，同時該研究將為電漿摻雜工藝的開發提供有價值的理論指導，推進超淺結工藝的進步，又具有十分重要的實際套用價值。
