超微量氣體流量計

氣體計量在現代工業生產過程中占有重要地位，一方面，新工藝和新技術等制約其發展的關鍵領域的突破，尤其是微電子技術的迅速發展，使微量氣體計量由機械式向智慧型化、模組化方向發展，其套用範圍得到了極大的擴展；另一方面，隨著環境監測、航空航天等套用領域對氣體計量準確度要求的不斷提高，對氣體計量可靠校準和溯源的研究越來越受到重視。

超微量氣體流量計適用於檢測微小氣體流量，在精密半導體產業、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領域有著廣泛的套用。

套用範圍

用於超微流量氣體計量，測量精度可達ppm級別，可適用於普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測量。適用於氫能、太陽能、沼氣技術、環境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領域。

技術特點

RTK超微量氣體流量計採用自主發明專利技術Gas Metering Cell(GMC)，結合自主智慧財產權的軟體，簡便、精確、直接測量氣體體積或質量，測量精度可達ppm級別。

可根據需要拓展為多通道，輕鬆實現平行實驗，提高工作效率和數據可靠對比性。

技術指標

測量範圍：最小流量為1毫升/天（ml/d），最大流量為50升/天（L/d）。

測量精確度：<1%。

測量解析度：<1 mL。

通道數：4通道、8通道、16通道。

數據顯示：PC端界面數據、圖形結合顯示。

適用範圍：可用於各種常規氣體及輕微腐蝕氣體的測量。