超大壓力鍵合機

超大壓力鍵合機是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，於2018年1月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：超大壓力鍵合機
• 產地：中國
• 學科領域：信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2018年1月5日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

1、晶圓尺寸：8英寸，6英寸，兼容4英寸及小片； 2、原片堆疊最大厚度：≥4mm； 3、腔室真空範圍：5e-5mbar~3e3mbar； 4、溫度範圍：室溫-500℃ 5、壓力範圍：5KN至100KN，範圍內連續可調； 6、鍵合後對準精度：≤±5μm（金屬鍵合）。

主要功能

晶圓級金屬擴散鍵合。