謝小柱

謝小柱，廣東工業大學機電工程學院博士/教授， 博士生導師/碩士生導師，廣東省“千百十”工程校級培養對象、廣東省企業科技特派員，國家公派新加坡國立大學訪問學者。主要研究面向電子信息領域的半導體材料/光電子材料雷射加工和精密加工技術，具體子方向包括（1）加工工藝與機理；（2）加工過程建模與仿真；（3）加工過程檢測技術。主持完成國家自然科學基金項目1項，廣東省自然科學基金2項，江蘇省重點實驗室開放基金，廣州市番禺區科技計畫1項，企業委託項目1項；參與國家、省部級項目6項。已發表論文40餘篇，其中SCI、EI收錄20餘篇，獲授權專利3項。

基本介紹

• 中文名：謝小柱
• 國籍：中國
• 民族：漢
• 畢業院校：湖南大學
• 學位/學歷：博士
• 專業方向：機械製造及其自動化
• 職務：廣東工業大學機電工程學院副院長
• 主要成就：廣東省“千百十”工程校級培養對象、廣東省企業科技特派員，國家公派新加坡國立大學訪問學者

教育與研究經歷

• 1992年~1996年，甘肅工業大學，機電工程系，大學本科/工學學士學位
• 2000年~2002年，湖南大學，機械與汽車工程學院，碩士研究生/工學碩士學位
• 2002年~2006年，湖南大學，機械與汽車工程學院，博士研究生/工學博士學位
• 2010年~2011年，國家公派新加坡國立大學訪問學者

·

工作經歷

2006年~2020廣東工業大學機電工程學院副院長，副教授，碩士生導師

研究方向

雷射微納加工 , 精密加工

職務與榮譽稱號

廣東工業大學副院長、副教授、碩士生導師

廣東工業大學第六批千百十培養對象

中國機械工程學會高級會員

中國光學學會高級會員

廣東省光學會雷射加工專業委員會委員

廣東省企業科技特派員

番禺區企業科技專家

主要成就

科研項目

• [1]廣東省自然科學基金項目，10萬，雷射成型切割藍寶石基片的研究 謝小柱 2015.4
• [1]廣東省自然科學基金項目，5萬，項目編號：S2013010014070，2013.10-2015.10基於光誘導微射流增強效應的雷射加工藍寶石的技術研究謝小柱 2013 .10
• [2]江蘇省精密與微細製造技術重點實驗室開放基金項目，2012.9~2014.9,4萬雷射誘導背面濕式精密蝕刻 加工藍寶石的機理和方法研究謝小柱 2012 .09
• [3]橫向項目清潔機械齒輪箱的開發謝小柱 2010 .12
• [4]廣東省自然科學基金項目（10151009001000036），5萬，2010.10~2012.10基於流體動壓效應超薄不鏽鋼基板化學機械拋光技術研究謝小柱 2010 .10
• [5]番禺區科技計畫項目2010-z-12-1清潔機械用低噪聲驅動橋裝置的研製及產業化謝小柱 2010 .09
• [6]國家自然科學基金項目（50805027），2009.1~2011.12,20萬調Q脈衝YAG綠雷射精密分割藍寶石基片方法與機理研究謝小柱 2009 .01

獲獎情況

• 2009、2011年廣東工業大學優秀科技工作者
• 2008、2012年廣東工業大學教學優秀二等獎

個人作品

主要論文

• [1]X.Z. Xie, M.F. Hu, W.F. Chen, X. Wei, W. Hu1, X.Y. Gao, X.R. Yuan, M.H. HongCavitation Bubble Dynamics during Laser Wet Etching of Transparent Sapphire Substrates by 1064 nm Laser Irradiation.Journal of Laser Micro/Nanoengineering, 2013, 8(3): 259-265 (SCI/EI收錄)
• [2]謝小柱，黃顯東，陳蔚芳，魏　昕，胡偉，車榮泓脈衝綠雷射劃切藍寶石基片過程研究.中國雷射，2013,40（12）：1203010-1:9 (EI收錄)
• [3]謝小柱，苑學瑞，陳蔚芳，魏　昕，胡　偉，胡滿鳳，高勛銀雷射誘導空泡技術研究和套用新進展.雷射與光電子學進展，2013,50（8）：080017-1:7
• [4]Xiaozhu Xie, Fumin Huang, Xin Wei, Wei Hu, Qinglei Ren, Xuerui YuanModeling and optimization of pulsed green laser dicing of sapphire using response surface methodology.Optics & Laser Technology 45 (2013) 125–131 (SCI/EI收錄)
• [5]黃福民，謝小柱* ，魏昕，胡偉，苑學瑞半導體晶圓雷射切割新技術.雷射技術，36（3）：293-297
• [6]X.Z. Xie, Z.Y. Pan, X. Wei, F.M. Huang, W. Hu, M.H. Hong.Hybrid micromachining of transparent sapphire substrate by pulsed green laser irradiation.Journal of Laser Mircro/Nanoengineering, 2011, 6(3):209-213 (SCI/EI收錄)
• [7]M. Tang, X. Z. Xie, J. Yang, Z. C. Chen, L. Xu, Y. S. Choo, M.H. Hong.Laser microprocessing and nanoengineering of large-area functional micro/nanostructures. .SPIE, 2011, 8204, 820428 (EI/ISTP收錄)
• [8]Xiaozhu Xie, Fumin Huang, Xin Wei, Wei Hu, Qinglei Ren, Xuerui Yuan.Ablation threshold of sapphire by pulsed green laser in nanosecond regime. .Advanced Materials Research, 2011, 314-316: 1930-1934 (EI收錄)
• [9]宋悠全，魏昕，謝小柱，劉俊宏.雷射加工中光化學作用的檢測分析方法. .測試技術學報，2011，25(4)：337-341
• [10]胡偉,胡國清,魏昕,謝小柱基於圖論的產品實例檢索結構相似度分析.農業機械學報,2011(08)
• [11]何廣濤，魏昕，謝小柱，譚偉明，宋悠全.藍寶石對532nm雷射吸收率的實驗測量. .雷射技術，2011, 35(1)：54-57
• [12]Xie Xiao-zhu, Huang Fu-min, Wei Xin, Hu Wei, Ren Qing-lei.Experimental study of laser dicing sapphire substrate by green DPSS laser. .SPIE, 2010, 7844, 78440T（EI/ISTP收錄）
• [13]Wei X., Xie X. Z., Huang J. F, Hu W..Experimental study on polishing sapphire substrate by Q-switched 355nm laser with nanosecond pulses. .Proceedings of the 9th International Conference on Frontiers of Design and Manufacturing July 17-19, 2010, Changsha, China
• [14]胡偉,胡國清,魏昕,謝小柱微機電系統CAD研究及發展現狀.壓電與聲光,2010(04)
• [15]謝小柱,魏昕,胡偉,黃福民高吸收率非金屬材料對CO_2雷射反射率的試驗測定.廣東工業大學學報,2010(03):1-4
• [16]胡偉,魏昕,謝小柱基於Modelica/Dymola的微諧振器建模與仿真.計算機仿真,2010(10):79-82
• [17]X.Z. Xie, J.G. Lu, X. Wei, W. Hu.Influence of beam polarizations on evaporative laser cutting nonmetallic materials within high absorptance. .Materials Science Forum, 2009, 626-627:363-368 (EI收錄)
• [18]胡偉,胡國清,魏昕,謝小柱吹瓶機中機械手凸輪曲線解析計算的研究.機械設計與製造,2009(04):183-185
• [19]陳卓,魏昕,任慶磊,謝小柱大尺寸矽片自旋轉磨削運動分析及仿真.金剛石與磨料磨具工程,2009(05):1-6+12
• [20]胡偉,魏昕,謝小柱基於Modelica的MEMS系統級多領域建模與仿真.感測技術學報,2009(10):1413-1416
• [21]謝小柱，魏昕，胡偉.CO2雷射切割模切板的表面質量. .雷射技術，2009，33(1)：71-73
• [22]XIE xiao-zhu, LI Li-jun, WEI Xin, HU Wei.Mechanism of CO2 laser cutting nonmetallic materials based on wall focusing effects..SPIE, 2008, 68258 (EI/ISTP收錄)
• [23]謝小柱，魏昕，胡偉.線偏振CO2雷射對非金屬材料切縫的影響. .雷射技術，2008，32(4)：399-401
• [24]Xie Xiao-zhu, Li Li-jun, Wei X, Wei Hu.Distribution of the intensity absorbed by evaporative front in laser cutting nonmetallic material. .Optics and Lasers in Engineering, 2008, 46(8):604-613 (SCI/EI收錄)
• [25]謝小柱，李力鈞，魏昕，胡偉.有機玻璃雷射氣化切割前沿. .中國雷射，2008, 35(6)：925-930 (EI收錄)
• [26]胡偉,魏昕,謝小柱化學機械拋光中拋光墊表面溝槽的研究.製造技術與工具機,2008(01)
• [27]黃加福,魏昕,謝小柱,何廣濤影響雷射拋光效果的因素分析.雷射與光電子學進展,2008(12):20-24
• [28]胡偉,魏昕,謝小柱,向北平CMP拋光半導體晶片中拋光液的研究.金剛石與磨料磨具工程,2006(06):78-80
• [29]謝小柱，李力鈞, 方石銀，劉繼常，鄢銼，張屹.中低功率CO2雷射切割非金屬板材..光電子雷射, 2005，16(2): 236-239 （EI 收錄）
• [30]X.-Z. Xie，G.-Y. Chen，L.-J. Li.Dressing of resin-bonded superabrasive grinding wheels by means of acousto-optic Q-switched pulsed Nd:YAG laser. .Optics & Laser Technology, 2004, 36,(5): 409-419 (SCI/EI收錄)
• [31]謝小柱，陳根余，李力鈞。聲光調Q Nd: YAG脈衝雷射修銳金屬結合劑金剛石砂輪.金剛石與磨料磨具工程, 2003, (5): 12-17 （EI 03507781795）

智慧財產權

• [1]實用新型201420281978.5一種雷射成形切割藍寶石基片的加工裝置謝小柱，高勛銀，魏昕，胡偉等 2014 .07
• [2]發明專利201410229233.9一種雷射成形切割藍寶石基片的加工方法和裝置謝小柱，高勛銀，魏昕，胡偉等 2014 .06
• [3]發明專利201310181566.4增強藍寶石雷射背向濕式刻蝕率的加工裝置及加工方法謝小柱，魏昕，胡偉 2013 .05
• [4]實用新型201320267412.2 增強藍寶石雷射背向濕式刻蝕率的加工裝置謝小柱，魏昕，胡偉 2013 .05
• [5]發明專利201210346105.3 一種綠雷射劃片藍寶石的工藝方法謝小柱，魏昕，胡偉 2012 .09
• [6]實用新型ZL 200920050957.1藍寶石的拋光裝置魏昕，謝小柱，胡偉 2009 .12
• [7]發明專利ZL200910037054.4藍寶石的拋光裝置及其拋光方法魏昕，謝小柱，胡偉 2009 .10