諧振感測理論及器件

諧振感測理論及器件

《諧振感測理論及器件》是2008年廣西科學技術出版社出版的圖書,作者是馮冠平

基本介紹

內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

諧振式感測器是感測技術中非常重要的一個研究方向,在壓力、溫度、溫度、加速度、質量流量、氣體濃度、生物分子識別、力的測量以及磁場檢測等方面都有套用。
本書系統地總結了諧振式感測器的基本原理、設計實現方法以工程套用技術,包括諧振感測理論、諧振器的激勵及檢測方式、電子式與機電式諧振式感測器的工作原理及實現技術等,並對諧振式感測器的信號獲取技術進行了全面的總結概括與深入分析。

圖書目錄

1 系統的諧振與諧振式感測器
1.1 諧振系統對外界參量的敏感特性
1.1.1 諧振式感測器的能量轉換
1.1.2 機械系統的諧振
1.1.3 諧振感測系統的檢測參數
1.2 諧振感測系統的組成
1.2.1 二階系統的串聯諧振與並聯諧振
1.2.2 基於閉環振盪電路的諧振式感測器
1.2.3 諧振式感測器的其他檢測方式
1.3 幾種常見的諧振式感測器
1.3.1 振弦式感測器
1.3.2 諧振筒式感測器
1.3.3 科里奧利質量流量感測器
1.3.4 壓電諧振式感測器
1.3.5 聲表面波感測器
參考文獻
2 諧振感測系統的激勵與檢測
2.1 諧振器的振動激勵
2.1.1 電磁激勵
2.1.2 靜電激勵
2.1.3 壓電激勵
2.1.4 電熱激勵
2.2 諧振器的振動檢測
2.2.1 電容檢測
2.2.2 壓電檢測
2.2.3 壓阻檢測
2.3 諧振式感測器的激勵與檢測
2.3.1 振動的激勵與檢測
2.3.2 諧振器的設計參數
參考文獻
3 電子式諧振感測器
3.1 電容諧振感測器
3.1.1 電容測量原理
3.1.2 電容檢測電路
3.1.3 電容諧振感測器的電路實現
3.2 電感諧振感測器
3.2.1 自感式電感感測器
3.2.2 互感式電感感測器
3.2.3 電渦流感測器
3.3 電渦流諧振感測器
3.3.1 電渦流位移感測器
3.3.2 電渦流無損檢測感測器
3.3.3 幾種新型電渦流感測器
參考文獻
4 石英晶體諧振器及其敏感特性
4.1 石英晶體的物理性質
4.2 石英晶體諧振器
4.2.1 石英晶體諧振器的等效電路
4.2.2 體聲波石英晶體諧振器
4.2.3 聲表面波延遲線及聲表面波諧振器
4.3 石英晶體諧振器的敏感特性
4.3.1 壓電諧振式感測器的類型
4.3.2 體聲波諧振器的表面敏感特性
4.3.3 聲表面波諧振器的表面敏感特性
4.3.4石英諧振式感測器的參數檢測
4.4 石英諧振式感測器的典型套用
4.4.1 溫度感測器
4.4.2 力、應力及壓力感測器
4.4.3 石英角速度感測器
4.4.4 薄膜厚度及沉積速率檢測
參考文獻
5 厚度剪下應變敏感型感測器
5.1 厚度剪下石英晶體諧振器的力頻特性
5.1.1 石英晶體諧振器的力頻特性
5.1.2 壓電薄板的運動微分方程
5.1.3 帶有電極石英晶片的運動方程
5.1.4 厚度剪下振動石英晶體諧振器的力頻係數
5.2 石英諧振式力敏元件的設計
5.2.1 載入力對諧振器能陷效應的影響
5.2.2 力敏諧振器的參數設計
5.2.3 非理想載入下的力敏諧振器
5.3 組合結構的石英諧振式力感測器
5.3.1 石英晶體諧振器的基本載入結構
5.3.2 直接載入的石英諧振式力感測器
5.3.3 間接載入的石英諧振式力感測器
5.4 感測器的溫度特性
5.4.1 加力方向角與感測器的溫度特性
5.4.2 諧振器的雙模式溫度自測
參考文獻
6 石英諧振式質量敏感測器
6.1 石英晶體諧振器的表面聲負載敏感特性
6.1.1 石英晶體微天平
6.1.2 表面流體對諧振器參數的影響
6.1.3 表面敏感膜對諧振器參數的影響
6.1.4 諧振公式在感測器研製中的套用
6.2 石英晶體諧振器在流體環境中的振盪行為
6.2.1 石英晶體諧振器的檢測電路
6.2.2 石英晶體諧振器的特徵阻尼
6.3 石英晶體諧振器在氣相檢測中的套用
6.3.1 表面敏感膜對氣體分子的吸附
6.3.2 氣體檢測裝置
6.3.3 用於氣相檢測的石英諧振式感測器
6.4 石英晶體諧振器在液相檢測中的套用
6.4.1 液相檢測時的頻率偏移
6.4.2 液相檢測的典型套用
6.4.3 電化學石英晶體微天平
參考文獻
7 聲表面波感測器
7.1 固體中的聲表面波
7.1.1 固體的應力、應變與壓電效應
7.1.2 壓電材料中聲波的傳播
7.1.3 聲表面波的基本類型
7.2 聲表面波感測器的基本原理
7.2.1 叉指換能器
7.2.2 聲表面波諧振器的等效電路
7.2.3 石英晶體聲表面波諧振器的設計
7.2.4 聲表面波諧振器的設計與製作實例
7.3 聲表面波感測器及其套用
7.3.1 振盪電路
7.3.2 聲表面波物理量感測器
7.3.3 聲表面波化學量感測器
7.4 無源無線聲表面波感測器
7.4.1 聲表面波諧振器的無線訪問
7.4.2 聲表面波延遲線的無線訪問
參考文獻
8 諧振式微感測器
8.1 微型諧振器
8.1.1 諧振器材料
8.1.2 諧振器的設計
8.1.3 感測器中套用的諧振器
8.2 矽諧振式壓力感測器
8.2.1 壓力的測量
8.2.2 基於單諧振梁的壓力感測器
8.2.3 基於諧振平板的壓力感測器
8.3 矽諧振式慣性感測器
8.3.1 加速度微感測器的基本原理
8.3.2 諧振式加速度微感測器
8.3.3 微陀螺
8.4 矽諧振式化學生物量微感測器
8.4.1 微懸臂樑感測器
8.4.2 微懸臂樑感測器的特性參數
8.4.3 基於微懸臂樑的化學生物量感測器
參考文獻
9 諧振式感測器的數據獲取
9.1 感測器中的準數位訊號
9.1.1 數字感測器中輸出信號的類型
9.1.2 準數位訊號的基本形式
9.1.3 被測參量到準數位訊號的轉換
9.2 準數位訊號的頻率與周期測量方法
9.2.1 頻率測量法
9.2.2 周期測量法
9.2.3 頻率的混合測量方法
9.2.4 相位的測量
9.3 準數位訊號的軟硬體協同測量
9.3.1 基於傅立葉變換的頻率測量系統
9.3.2 基於現場可程式門陣列的頻率測量方法
9.3.3 高頻率感測器信號的低速測量方法
9.4 諧振式感測器的測量系統
9.4.1 感測器的信號輸入通道
9.4.2 準數位訊號的多通道數據獲取系統
9.4.3 多通道數據獲取系統的主要誤差
參考文獻

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