| 中文名稱 | 表面黏附係數 |
| 英文名稱 | sticking coefficient of surface |
| 定 義 | 已經被黏附於襯底表面上的原子(分子)數與噴射抵達表面的原子(分子)總數之比。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |
| 中文名稱 | 表面黏附係數 |
| 英文名稱 | sticking coefficient of surface |
| 定 義 | 已經被黏附於襯底表面上的原子(分子)數與噴射抵達表面的原子(分子)總數之比。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），半導體材料製備（三級學科） |