螺桿真空泵

螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新換代產品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內製藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業領域得到廣泛套用。

基本介紹

• 中文名：螺桿真空泵
• 外文名：screw vacuum pump
• 類型：抽氣設備
• 優點：壽命長、能耗低、無油污染
• 用途：微電子、半導體、製藥、精密

螺桿真空泵的用途

兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，乾式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品。

螺桿真空泵的優點

目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空套用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來乾式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的乾式真空泵.螺桿真空泵屬於非接觸型乾式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速範圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點得以廣泛套用。

乾式螺桿真空泵由於其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、製藥、精密加工等行業首選真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線，並投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發出了等螺距、變螺距轉子型線，並在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業在2008年也將螺桿真空泵的生產進入批量化生產，在化工製藥等行業得到很好的套用。

螺桿真空泵的結構

傳動軸連線主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。乾式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯軸器與轉子連線，極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。 等螺距螺桿泵由於無內壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環節，水冷是最常見的方法，在機殼本體、軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。

國內外生產概況

1、國內螺桿真空泵的企業，從2004年起便開始進行型線與結構性能方面的研究。在2007年國內乾式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據的時候，國內公司投入大量資金將該產品轉入批量化的生產，並得到國家的大力支持獲得各類省級國家級科技獎項和資金。LG乾式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/噴射式/水環式真空泵的更新換代產品，在國內各大製藥和化工企業得到大量套用。針對不同工藝條件，其過流部件（即轉子和泵體等與氣體接觸的部分）均有防腐塗層，包括鎳磷塗層和PTFE兩種。

2、德國和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業套用(非半導體套用)設計的乾式泵，它是一種全新的設計，是專門用來解決工業套用中艱苦的真空問題，如粉塵、焦油等。此泵也是採用變螺距轉子，有內壓縮過程，泵腔內無軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內沒有內部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿採用內部中空冷卻，可以降低轉子溫度和熱變形，螺桿壽命長。