《藍光LED中圖形化結構的製備方法及其光電特性研究》是依託山東大學，由劉鐸擔任項目負責人的重大研究計畫。
基本介紹
- 中文名：藍光LED中圖形化結構的製備方法及其光電特性研究
- 項目類別：重大研究計畫
- 項目負責人：劉鐸
- 依託單位：山東大學
中文摘要,結題摘要,
中文摘要
掌握圖形化結構在藍光發光二極體（LED）中的製備方法並深入研究其對電流注入、光提取效應及相關基礎物理問題具有重要的科學意義和套用價值。項目針對傳統藍光LED光提取效率低、Ga面腐蝕難度大的特點，以理論設計和模擬仿真為指導，綜合套用濕法腐蝕、紫外輔助、雷射刻蝕技術，製備新型圖形化藍光LED，並深入研究其中的光電轉換、能量傳輸和轉換機理等基本物理問題，掌握電磁能量在圖形化結構中的傳播和束縛的物理規律，最終實現提高藍光LED發光效率，加深對光在圖形化介質界面傳播的認識和理解，開發出若干具有自主智慧財產權的光電轉換器件相關的新工藝。
結題摘要
半導體照明產業的發展對於實現國家的節能減排戰略具有重要意義。本項目以半導體發光二極體（LED）為研究對象，針對目前藍光發光二極體普遍存在的光提取效率偏低、鎵面加工難度大的特點，在掌握氮化鎵基LED中材料缺陷及微結構特徵的基礎上，綜合利用各種微結構加工手段，實現了氮化鎵鎵面的等離激元輔助腐蝕，並研究了等離激元輔助半導體腐蝕的反應原理。在此基礎上，項目還進一步研究了干涉腐蝕、壓印技術對半導體發光器件光電性能的影響，開發了若干具有自主智慧財產權的高效光提取效率的圖形化結構的加工方法。
