金屬薄膜式應變片是薄膜技術發展的產物。它是採用真空蒸或真空沉積法等在薄的絕緣基片上形成0.1μm以下的金屬電阻材料薄膜敏感柵，最後加上保護層，易實現工業批量生產，是一種很有前途的新型應變片。
實際上，通常是將薄膜式應變片與感測器的彈性體製成一個不可分割的整體，亦即在感測器彈性體的應變敏感部位表面上首先沉積形成很薄的絕緣層，然後在其上面沉積薄膜應變片的圖形，然後再覆上一層保護層。由於薄膜式應變片與感測器的彈性體之間只有一層超薄絕緣層（厚度僅為幾個納米），很容易通過彈性體散熱，因此允許通過比其他種類應變片更大的電流，並可以獲得更高的輸出和更佳的穩定性。
這種應變片的特點是：電阻值比箔式應變片高，形狀和尺寸也比箔式應變的更小更精確；它沒有箔式應變片腐蝕所引入的疵病；製成的結構散熱好，對有較寬的溫度範圍也可達到較完善的補償；特別是近年由於雷射調組技術的發展，提高了電阻值的精度，可達到0.01%。尤其突出的是：陶瓷絕緣帶替了膠接，既避免了複雜的分選和貼上技術，而且對膠接法所引入的漂移、蠕變、疲勞弱點都有很大的克服。
