薄膜型三氧化二鋁基氣敏材料及感測器研究

薄膜型三氧化二鋁基氣敏材料及感測器研究

《薄膜型三氧化二鋁基氣敏材料及感測器研究》是依託四川大學,由余萍擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:薄膜型三氧化二鋁基氣敏材料及感測器研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:余萍
  • 依託單位:四川大學
  • 批准號:50172032
  • 申請代碼:E0206
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2002-01-01 至 2004-12-31
  • 支持經費:20(萬元)
項目摘要
半導體陶瓷氣體感測器是套用量大面廣的基礎器件。本組發明了擁有自主智慧財產權的Al2O3沾善舨牧鹹逑島托灤推羝骷峁梗兄屏碩嘀中閱苡帕嫉鈉舸釁鰲1鞠釒坷媒ι洹⑷芙?凝膠等技術研製薄膜型Al2O3基氣敏材料和功耗低、一致性好、馳豫時間短的氣羝骷叩湫偷腦賜反蔥灤停徊教岣卟牧蝦推骷閱埽刮夜孟鈦芯烤庸是傲小

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