范元媛

范元媛，女，中國科學院大學專任教師。

基本介紹

• 中文名：范元媛
• 國籍：中國
• 畢業院校：山東大學
• 學位/學歷：博士

人物經歷

教育背景

2009-09--2012-06 中國科學院上海光機所 博士研究生

2006-09--2009-06 廈門大學 碩士研究生

2002-09--2006-06 山東大學 本科學士

工作經歷

2018-11~現在, 中國科學院微電子研究所, 副研究員

2012-07~2018-10,中國科學院光電研究院, 副研究員

科研成果

專利成果

（ 1 ） 具有環形泵浦結構的固體雷射器, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL 201310127541.6

（ 2 ） 一種連續調節雷射相干長度的方法和裝置, 發明, 2015, 第 2 作者, 專利號: ZL 201210552043.1

（ 3 ） 一種測量ArF準分子雷射器腔內溫度的光纖光柵感測器, 發明, 2017, 第 1 作者, 專利號: ZL 201210513131.0

（ 4 ） 準分子雷射器複合腔, 發明, 2017, 第 3 作者, 專利號: US 9325143 B2（美國）；KR 1804551 B1（韓國）；RE 2607815 C1（俄羅斯）

（ 5 ） 一種具有環形腔結構的準分子雷射系統, 發明, 2015, 第 5 作者, 專利號: PCT/CN2015/084740

（ 6 ） 精確測量高功率雷射環境中光學鏡片透過率的裝置和方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: 201510497130.5

（ 7 ） 一種基於光譜色散原理調節雷射相干長度的方法和裝置, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: 201510172670.6

（ 8 ） 一種雷射相干長度的調控裝置和雷射器, 發明, 2016, 第 1 作者, 專利號: 201611235206.8

（ 9 ） 精確測量高能紫外雷射系統中光學鏡片透過率的裝置和方法, 發明, 2017, 第 1 作者, 專利號: ZL201510338481.1

（ 10 ） 自種子注入雙腔結構準分子雷射器系統, 發明, 2016, 第 2 作者, 專利號: ZL201310712625.6

（ 11 ） 一種同時監測雷射光譜及光譜能量分布的方法和裝置, 發明, 2017, 第 2 作者, 專利號: ZL201410591968.6

（ 12 ） 光纖纖芯溫度的測量方法, 發明, 2010, 第 2 作者, 專利號: ZL201010101770.7

（ 13 ） 光纖包層光濾除器, 發明, 2011, 第 3 作者, 專利號: ZL201110112212.5

（ 14 ） 一種光學元件透過率的測量方法及裝置, 發明, 2012, 第 3 作者, 專利號: ZL201210524943.5

（ 15 ） 一種採用環形腔結構的氣體雷射器放大系統, 發明, 2013, 第 3 作者, 專利號: ZL201310220503.5

（ 16 ） 一種準分子雷射器, 發明, 2015, 第 3 作者, 專利號: 201510334996.4

（ 17 ） 一種光學元件透過率的測量方法及裝置, 發明, 2016, 第 3 作者, 專利號: ZL201210524943.5

（ 18 ） 聲波和激波控制裝置, 發明, 2016, 第 4 作者, 專利號: 201610107773.9

（ 19 ） 一種高功率光學鏡片測量裝置, 實用新型, 2016, 第 1 作者, 專利號: ZL201520610286.5

（ 20 ） 一種高能紫外光學鏡片測量裝置, 實用新型, 2016, 第 1 作者, 專利號: ZL201520420745.3

（ 21 ） 基於標準具控制雷射光譜及相干長度的調控裝置和雷射器, 實用新型, 2017, 第 1 作者, 專利號: ZL201621454788.4

（ 22 ） 聲波和激波控制結構及準分子雷射器放電腔, 實用新型, 2016, 第 4 作者, 專利號: ZL201620146902.0

（ 23 ） 精確測量高功率雷射環境中光學鏡片透過 率的裝置和方法, 發明, 2018, 第 1 作者, 專利號: ZL201510497130 .5

（ 24 ） 一種具有環形腔結構的準分子雷射器, 發明, 2019, 第 5 作者, 專利號: 歐洲EU15898635.6，美國US20180212397A1

（ 25 ） 一種準分子雷射器, 發明, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201510334996 .4

（ 26 ） 兼顧棒狀光源聚焦功率及譜密度均衡的裝置及光聲光譜儀, 發明, 2019, 第 1 作者, 專利號: 201911003586.6

（ 27 ） 提升棒狀光源聚焦功率並減弱雜散光的裝置及光聲光譜儀, 發明, 2019, 第 1 作者, 專利號: 201911003587.0

（ 28 ） 一種213nm紫外光的輸出方法及系統, 發明, 2020, 第 5 作者, 專利號: 202010084386.4

（ 29 ） 一種213nm雷射器, 發明, 2020, 第 5 作者, 專利號: 202010084352.5

出版信息

發表論文

（1） Research Status and Analysis of Fifth-harmonic-generation for ~1μm laser, SPIE, 2019-11, 第 1 作者

（2） Transmissivity testing of calcium fluoride windows under high pulse repetition rate laser radiation at 193nm, SPIE, 2018, 第 2 作者

（3） Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency, 2017雷射與光電子學國際會議(CLEO) Postdeadline Paper, 2017, 第 1 作者

（4） Efficient Self-seeding in a Long Cavity-length Discharge-excited Excimer Laser System, SPIE, 2017, 第 1 作者

（5） 高效率ArF準分子雷射複合腔技術研究, Compound Cavity ArF Excimer Laser with High Efficiency, 中國雷射, 2016, 第 1 作者

（6） Coherence length tunable solid-state lasers with hig, SPIE, 2016, 第 1 作者

（7） 高能窄帶雷射系統中光譜純度檢測的實驗研究, Experimental Study on Spectral Purity Detecting in High-Energy Narrow-Linewidth Laser System, 雷射與光電子學進展, 2015, 第 2 作者

（8） 相干長度連續可調的高穩定性固體雷射器, Solid-state lasers with high power stability and continuously tunable coherence length, 中國雷射, 2014, 第 2 作者

（9） 基於麥可遜腔光纖雷射相干合成的輸出特性, Output of coherent combining of fiber laser in Michelson cavity, 紅外與雷射工程, 2013, 第 4 作者

（10） Ef f icient heat transfer in high-power f iber lasers, Chinese Optics Lasers, 2012, 第 1 作者

（11） Thermal effects in kilowatt all-fiber MOPA, Optics Express, 2011, 第 1 作者

（12） Preparation, package and high-power fiber laser experiment of large mode-area fiber grating, SPIE, 2011, 第 1 作者

科研項目

（ 1 ） 基於光譜控制的相干長度連續調諧技術研究, 主持, 國家級, 2015-01--2017-12

（ 2 ） ArF準分子雷射複合腔理論及實驗研究, 主持, 市地級, 2016-01--2017-06

（ 3 ） 40W 4kHz ArF曝光光源產品研發 課題2 雷射放電腔研發, 參與, 國家級, 2013-01--2019-12

（ 4 ） 深紫外全固態雷射系統設計與分析, 主持, 市地級, 2019-06--2021-06

（ 5 ） 寬譜可調紅外光源與高效光生聲波核心部件研製, 參與, 國家級, 2018-10--2021-09

（ 6 ） 高靈敏度微納集成光學陀螺, 參與, 部委級, 2019-01--2021-12

（ 7 ） 青年創新促進會, 主持, 部委級, 2020-01--2023-12

參與會議

（1）Research Status and Analysis of Fifth-harmonic-generation for ~1μm 環太雷射損傷暨薄膜物理與套用國際會議 2019-05-20

（2）Efficient Self-seeding in a Long Cavity-length Discharge-excited Excimer Laser System 2017 年國際套用光學與光子學技術交流會 Fan Yuanyuan 2017-06-05

（3）Narrow-linewidth ArF excimer laser with high efficiency 2017雷射與光電子學國際會議(CLEO) Postdeadline Paper Fan Yuanyuan 2017-05-18

（4）Coherence length tunable solid-state lasers based on Fabry-Perot etalon 2016國際光電技術與套用系列創新研討會 2016-05-10