色散共焦位移感測器由光源射出一束寬光譜的複色光（呈白色），通過色散鏡頭髮生光譜色散，在一條軸線上形成一系列不同波長的單色光，每一個波長都對應一個到被測物體的距離值。物體表面將照射光反射回來，通過共聚焦小孔過濾，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的波長，換算獲得距離值。
色散共焦位移感測器從誕生到現在已經有約20年歷史，是一種新型的超高精度和超高穩定性的非接觸光學位移感測器。
基本介紹
- 中文名：色散共焦位移感測器
- 最高解析度：0.5nm
- 最小光斑：3.4um
- 最小可測厚度：0.4um
基本信息,特徵,
基本信息
色散共焦位移感測器由光源射出一束寬光譜的複色光（呈白色），通過色散鏡頭髮生光譜色散，形成不同波長的單色光，每一個波長都對應一個到被測物體的距離值。測量光射到物體表面被反射回來，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的波長，換算獲得距離值。
基於一個創新的光學原理，利用空間的色散光譜（STIL的發明和專利），色散共焦位移感測器可以對幾乎任何材料進行高精度的測量。
幾乎所有工業部門的套用，都可以將它作為計量或實驗室研究用的高精度測量儀器，或生產線的質量控制工具。
色散共焦位移感測器有不同量程，測量和檢測設備帶有的簡單的接口，可以提供DLL /動態程式庫。
特徵
顛覆雷射位移感測器的新一代超高精度位移測量計
，可做非接觸表面粗糙度或微觀2D/3D形貌測量
透明體、非透明或斜坡表面均可測量
可測量透明體厚度，
套用
微位移、微形變高精度測量
超高線性度，可以作為感測器的標定使用
通過長度測量可以測量計算難以獲取的微小應變
純光學測頭，不會受到強磁干擾，無溫度散發，可以在真空中使用
線上檢測
高測量速度和開放的接口，可以套用於生產線相關的檢測或控制系統
色散原理具有超高的耐表面性，高光潔表面也可以穩定檢測
側視測量，可以測量最小直徑7mm的微孔側壁形貌
測振計
高速的測量頻率和納米級的解析度，可以套用在物體的振動測量
厚度測量
獨創的色散共焦成像原理可以測量透明材料的厚度，具有極高的精確度
液位控制
非接觸式測量，可以對液位進行檢測和測量
表面形貌掃描
符合新的ISO25178規定，最高能夠測量幾納米以下表面粗糙度
非接觸式粗糙度測量，對表面沒有任何影響
連線三維掃描設備，能夠實現複雜表面的亞微米級精度的2D和3D測量
