脈衝離子注入

中文名稱脈衝離子注入
英文名稱pulsed ion implantation
定  義利用脈衝離子束進行的離子注入過程。
套用學科材料科學技術(一級學科),材料科學技術基礎(二級學科),材料合成、製備與加工(三級學科),表面改性和塗層技術(四級學科)

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