聲體波器件,利用固體內部傳播的聲波對電信號進行延遲、濾波,對電脈衝進行展寬或壓縮,對電振盪進行穩頻等的固體微聲器件。
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隨著薄膜與微納製造技術的發展,電子器件正向微型化、高密集復用、高頻率和低功耗的方向迅速發展。近年來發展起來的薄膜體聲波諧振器(FBAR)的工作頻率比傳統聲表面波...
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