聲表面波式氣體感測器

聲表面波式氣體感測器是通過測定壓電材料表面聲波變化進行氣體測量的感測器。感測器製作在壓電材料的襯底上，一端表面為輸入感測器，另一端為輸出感測器。兩者間的區域澱積能吸附揮發性有機化合物的聚合物膜。被吸附的分子使感測器質量增加，聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發生變化，通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體體積分數。主要氣敏材料有聚異丁烯、氟聚多元醇等，用來測量苯乙烯和甲苯等有機蒸氣。選擇性高、靈敏度高、在很寬的溫度範圍內穩定、對濕度回響低和良好的可重複性。輸出為準數位訊號，可簡便地與微處理器接口。