基於一種新思路的聲表面波感測器研究

《基於一種新思路的聲表面波感測器研究》是依託清華大學，由馮冠平擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：基於一種新思路的聲表面波感測器研究
• 依託單位：清華大學
• 項目負責人：馮冠平
• 項目類別：面上項目
• 批准號：59675084
• 申請代碼：E0511
• 負責人職稱：研究員
• 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
• 支持經費：10（萬元）

項目摘要

針對聲表面波的力敏、氣敏機理進行了深入研究，採用理論與實驗相結合的研究方法，從理論上建立起了聲表面波器件諧振參數對外界物理及化學量參數的敏感理論，提出了研究聲表面波力、溫度感測器需要綜合考慮的六項指標並解決了六項指標計算的關鍵問題，為聲表面波感測器的研製乃至聲表面波器件的設計提供了一個十分必要的理論工具。在此基礎上，研製出了聲表面波諧振式力、溫度、加速度感測器。針對諧振式的氣體感測器，建立了新的耦合模理論模型，研製出基於聲表面波諧振器的氣體感測器及感測器陣列。初步開始了無源無線聲表面波感測器的研究，研製了兩種型式的聲表面波無線感測系統並結合時間延遲型及諧振器型聲表面波感測器的遙測技術進行了研究。