聲納掃描顯微鏡

聲納掃描顯微鏡是一種用於機械工程領域的科學儀器，產地為美國，於2009年12月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：聲納掃描顯微鏡
• 產地：美國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2009年12月28日

技術指標

掃描區域：13×7 掃描精度：1微米。

主要功能

可以檢測器件、材料內部的缺陷位置、大小和分布形態等，主要套用於失效分析、可靠性分析、製程控制、品質控制，產品研發、工藝提升等。