聚焦深度

焦點周圍的一個範圍，在這個範圍內圖像連續地保持信息，這個範圍被稱作聚焦深度(DOF:Depth of Focus)或焦深，它相當於照相機的景深。

基本介紹

• 中文名：聚焦深度
• 外文名：Depth of Focus
• 英文縮寫：DOF

名詞介紹

聚焦深度是衡量曝光工藝視窗的重要參數，它標誌了曝光系統成像的質量和晶圓表面位置的關係。在聚焦深度範圍之內，曝光成像的質量是可以保證的。曝光時的聚焦深度必須要遠大於晶圓表面的不平整度，只有這樣才能保證光刻工藝的良率。

描述方程式

如圖1所示，為簡化計算，只考慮來自掩膜版的第0級和第1級衍射光通過投影透鏡在晶圓上成像，聚焦深度定義為2P₀P，即為：

DOF=2P₀P=λ/2(NA)

其中，λ=曝光的波長，NA=光學系統的數值孔徑[1]

圖1 球形波面的光程計算（P0是波面的聚焦點，即R0P0=RP0）