純氮pure helium純氦純度799.996 ,高純氦純度奏99.999%二無色無臭無味氣體:微溶於水有較高的熱導性,密度0.1785gIcm }沸點為一272.1 C. (f1.lfl1MPG]}氦置換空氣可造成缺氧而產生窒息性巾毒。
原料氣為大空分機組提供的90 Nfi氖氦混合氣,在常壓液氮溫度下經活性炭吸附除氮,可得到大於99.9%的純氖氦混合氣,經氖氦分離器,得到99.90h}的純氖。純氖經氧化銅爐除氫,再經低溫中、高壓吸附除氖可獲得99.999 0h高純氦。純氦用於充氦氣球及高空氣象觀測、深水作業、高真空和宇宙飛船的檢漏。也用於鎂、錯、鐵等金屬焊接以及低溫超導研究等。高純氦主要用於半導體器件的生產。