納米離子減薄透射電鏡制樣系統

納米離子減薄透射電鏡制樣系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2015年9月18日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米離子減薄透射電鏡制樣系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年9月18日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 透射電鏡

技術指標

惰性氣體離子源能量50 eV- 2K eV；電磁聚焦離子束，具備掃描能力。最小束斑直徑1μm（2 kV）；最大束流1 mA/cm2。

主要功能

(1) 超低能量惰性氣體離子源。能量50 eV- 2K eV； (2) 電磁聚焦離子束，具備掃描能力。最小束斑直徑1μm（2 kV）； (3) 最大束流1 mA/cm2； (4) 離子束刻蝕傾角-10° ~ +10°； (5) 可在室溫或低溫模式(最低至-170 ℃)下工作； (6) 計算機控制、全程式化、使用方便； (7) 無污染乾式真空系統； (8) 二次離子成像系統，確保掃描觀察圖像和刻蝕樣品同位進行。