《納米製造的基礎研究》是2020年浙江大學出版社出版的圖書，由納米製造的基礎研究項目組、楊衛編寫。
基本介紹
- 書名：納米製造的基礎研究
- 作者：納米製造的基礎研究項目組、楊衛
- 出版社：浙江大學出版社
- 出版時間：2020年4月1日
- 頁數：166 頁
- 開本：16 開
- 裝幀：精裝
- ISBN：9787308197762
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《納米製造的基礎研究/中國基礎研究報告》通過多學科交叉研究，探索基於物理/化學效應的納米製造新原理與新方法，揭示納米尺度與納米精度下加工、成形、改性和跨尺度製造中的表面/界面效應、尺度效應等，闡明物質結構演變機理，建立納米製造過程的精確表征與計量方法，發展若干原創性納米製造工藝與裝備，為實現納米製造的一致性和批量化、提升我國納米製造工藝與裝備水平提供理論基礎。
圖書目錄
第1章
項目概況
1．1 項目介紹
1．2 項目布局
1．3 取得的重大進展
第2章
國內外研究情況
2．1 納米製造的國內外研究現狀
2．2 納米製造的國家戰略需求與發展趨勢
2．3 我國納米製造發展態勢
第3章
納米／亞納米精度製造
3．1 原子層材料去除理論模型與方法
3．2 納米精度製造的重要工程套用
3．3 納米精度製造的工藝裝備
第4章
宏微納跨尺度結構一致性製造
4．1 電場驅動納米壓印原理與方法
4．2 半導體材料的電化學納米壓印原理與方法
4．3 大幅面納米尺度結構的壓印製造裝備
4．4 功能化大面積納米結構的工程套用
第5章
納米結構與器件跨尺度集成製造
5．1 自約束納米加工的高精度可控制造
5．2 外場誘導三維微納結構製造
5．3 功能納米結構的按需區域構築
5．4 二維材料納米結構的可控加工方法
5．5 跨尺度製造的重要工程套用
第6章
雷射微納製造新方法
6．1 超快雷射時空整形微納加工新原理、新方法
6．2 超快雷射微納製造過程的多時間尺度觀測
6．3 雷射微納製造的重要工程套用
6．4 雷射微納製造裝備
第7章
其他納米製造原理與技術突破
7．1 功能納米材料／結構的製備與套用
7．2 納米結構的無掩膜製造
7．3 新型納米器件製造
7．4 納米製造中的精度計量與溯源
第8章
展望
8．1 我國納米製造存在的不足和戰略需求
8．2 納米製造持續研究的構想和建議
參考文獻
成果附錄
附錄1 重要論文目錄
附錄2 獲得國家科學技術獎勵項目一覽表
附錄3 代表l生髮明專利一覽表
索引
