納米結構尺度測量中的計算物理問題研究

《納米結構尺度測量中的計算物理問題研究》是依託中國科學技術大學,由丁澤軍擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:納米結構尺度測量中的計算物理問題研究
  • 項目類別:面上項目
  • 項目負責人:丁澤軍
  • 依託單位:中國科學技術大學
  • 批准號:10874160
  • 申請代碼:A2001
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2009-01-01 至 2011-12-31
  • 支持經費:38(萬元)
中文摘要
本項課題側重從電子與材料相互作用的基礎物理的角度出發,研究測長掃描電鏡成像和線寬評價問題,以及X光電子能譜測膜厚問題。在建立新的物理模型的基礎上,採用蒙特卡洛方法模擬掃描電鏡中二次電子信號以及表面電子能譜學中光電子信號的產生和發射,由此研究具體實驗條件下各種參數對尺度測量的影響,在總結歸納的基礎上提出普適性強且簡單實用的經驗分析公式,為納米尺度測量的實際工作提供理論指導,也為表面微分析和表征手段的進一步發展提供理論依據。

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