納米級CMOS超大規模積體電路可製造性設計

納米級CMOS超大規模積體電路可製造性設計

《納米級CMOS超大規模積體電路可製造性設計》是2014年科學出版社出版的圖書,作者是美國Sandip Kundu、Aswin Sreedhar。

基本介紹

  • 中文名:納米級CMOS超大規模積體電路可製造性設計
  • 作者:(美)Sandip Kundu、Aswin Sreedhar
  • 譯者:王昱陽、謝文遨
  • 出版社:科學出版社
  • 出版時間:2014年05月
  • ISBN:9787030400345 
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

本書內容包括:CMOSVLSI電路設計的技術趨勢;半導體製造技術;光刻技術;工藝和器件的擾動和缺陷分析與建模;面向可製造性的物理設計技術;測量、製造缺陷和缺陷提取;缺陷影響的建模和合格率提高技術;物理設計和可靠性;DFM工具和DFM方法等。

圖書目錄

封面
作者簡介
納米級CMOS超大規模積體電路可製造性設計
內容簡介
致謝
第1章 緒論
第2章 半導體製造
第3章 工藝和器件偏差:分析與建模
第4章 面向製造的物理設計
第5章 計量、製造缺陷以及缺陷提取
第6章 缺陷影響的建模以及成品率提高技術
第7章 物理設計和可靠性
第8章 可製造性設計:工具和方法學
封底

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