《納米科學技術及套用》是2019年9月哈爾濱工業大學出版社出版的圖書，作者是袁哲俊、楊立軍。
基本介紹
- 書名：納米科學技術及套用
- 作者：袁哲俊
楊立軍 - ISBN：9787560383606
- 頁數：549頁
- 定價：168元
- 出版社：哈爾濱工業大學出版社
- 出版時間：2019年9月
- 裝幀：平裝
- 開本：16開
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
納米科學技術是近年來飛躍發展的一門新興科學，本書全面系統地闡述了納米科學技術及套用，主要內容包括：掃描探針式顯微鏡；納米材料；納米級精密測量技術；納米級超精密加工；納米級表層物理力學性能檢測和納米摩擦學；納米電子學；微機械和微機電系統及其製造技術。探姜愚本書內容豐富，不僅系統地講述了納米科學技術的基礎原理和技術，同時還介紹了納米科技的*新發展和成就。
本書可作為相關專業科研人員的重要參考書，也可作為機械類專業研究生和本科生的教材。
圖書目錄
第 1章 納米科學技術概述 1
1．1 納米科學技術的特點 2
1．2 納米市姜祝科學技術的發展 2
1．3 發展納米科學技術的理論基礎 7
1．4 發展納米科技的重要性和各國納米科技的發展情況 12
複習思考題 26
參考文獻 26
第 2章 探針式顯微鏡 28
2．1 探針式顯微鏡發明前微觀表面形貌檢測技術的發展 29
2．2 掃描隧道顯微鏡 37
2．3 原子力顯微鏡 57
2．4 其他掃描探針顯微鏡 82
2．5 光子掃描隧道顯微鏡和近場光學掃描顯微鏡 84
複習思考題 87
參考文獻 87
第3章 納米材料 90
3．1 納米材料的發展與納米材料定義 91
3．2 納米顆粒(微粉)材料 93
3．3 納米微粒材料(零維納米材料)的製造技術 106
3．4 納米薄膜材料 118
3．5 納米塊體材料 123
3．6 原子團簇 131
3．7 碳納米管 137
3．8 納米複合材料 161
複習思考題 167
參考文獻 167
第4章 納米級精密測量技術 169
4．1 納米級的尺寸精度和位移的測量方法 170
4．2 納米級精度的多維尺寸測量 175
4．3 納米級表面形貌和粗糙度的測量 177
4．4 超精密測量的環境條件 182
4．5 提高三維測量系統測量精度需注意的問題 186
複習思考題 190
參考文獻 190
第5章 納米級超精密加工和原子操縱技術 191
5．1 納米級加工的物理實質和特點 192
5．2 超精密機械加工技術 194
5．3 納米切削奔局辯境的分子動力學模擬 199
5．4 三束加工技術 203
5．5 原子與近原子尺度製造 212
5．6 碳納米管互連技術 228
5．7 原子操縱技術的發展和操縱機理的探析 238
複習思考題 240乃全照
參考文獻 241
第6章 納米級表層物理力學性能檢測和納米摩擦學 244
6．1 納米級表層物理力學性能的顯微力學探針檢測法 245
6．2 材料極薄表層物理力學性能的實際檢測 251
6．3 納米摩擦學的提出 259
6．4 納米摩擦學研究使用的實驗測試儀器歡應奔 261
6．5 納米級摩擦副材料和摩擦表面形態 267
6．6 邊界潤滑與分子膜 272
6．7 薄膜潤滑 283
6．8 平滑界面的微摩擦形態 291
6．9 納米摩擦學的分子動力學模擬 303
複習思射犁考題 305
參考文獻 305
第7章 納米電子學 307
7．1 概述 308
7．2 從微電子技術到納米電子技術的發展 309
7．3 量子電子器件的主要特徵 316
7．4 量子電系統的基礎元件 322
7．5 納米級單電子電晶體 324
7．7 原子電子器件 340
7．8 納米電子器件的集成和量子計算機 344
7．9 三代電子器件的比較和納米電子積體電路的探索 351
7．10 二維半導體材料納米器件 354
複習思考題 365
參考文獻 365
第8章 微機械和微機電系統 366
8．1 微機械和微機電系統的提出 367
8．2 微機械和微機電系統的理論基礎 369
8．3 微機械常用的材料 377
8．4 微機械和微機電系統的技術基礎 383
8．5 微感測器 393
8．6 微致動器 408
8．7 微型機器人 417
8．8 微型慣性儀表 424
8．9 微飛行器 438
8．10 微型衛星 454
複習思考題 463
參考文獻 464
第9章戀采體雅 微機械和微機電系統的製造 466
9．1 微機械與微機電系統的製造技術簡介 467
9．2 積體電路的製造過程簡介 470
9．3 微機械器件的薄膜製造技術 474
9．4 光刻工藝中的曝光技術 478
9．5 光刻工藝中的刻蝕技術和立體光刻技術 490
9．6 LIGA技術 497
9．7 犧牲層工藝技術 508
9．8 微器件基板的鍵合技術 512
9．9 精密微機械加工和特種加工等在微機電系統製造中的套用 520
複習思考題 534
參考文獻 535
附錄 537
附錄1 中國納米科技至2050年的發展目標和可能取得的重要突破 537
附錄2 中國至2050年納米科技發展路線圖 542
名詞索引
6．1 納米級表層物理力學性能的顯微力學探針檢測法 245
6．2 材料極薄表層物理力學性能的實際檢測 251
6．3 納米摩擦學的提出 259
6．4 納米摩擦學研究使用的實驗測試儀器 261
6．5 納米級摩擦副材料和摩擦表面形態 267
6．6 邊界潤滑與分子膜 272
6．7 薄膜潤滑 283
6．8 平滑界面的微摩擦形態 291
6．9 納米摩擦學的分子動力學模擬 303
複習思考題 305
參考文獻 305
第7章 納米電子學 307
7．1 概述 308
7．2 從微電子技術到納米電子技術的發展 309
7．3 量子電子器件的主要特徵 316
7．4 量子電系統的基礎元件 322
7．5 納米級單電子電晶體 324
7．7 原子電子器件 340
7．8 納米電子器件的集成和量子計算機 344
7．9 三代電子器件的比較和納米電子積體電路的探索 351
7．10 二維半導體材料納米器件 354
複習思考題 365
參考文獻 365
第8章 微機械和微機電系統 366
8．1 微機械和微機電系統的提出 367
8．2 微機械和微機電系統的理論基礎 369
8．3 微機械常用的材料 377
8．4 微機械和微機電系統的技術基礎 383
8．5 微感測器 393
8．6 微致動器 408
8．7 微型機器人 417
8．8 微型慣性儀表 424
8．9 微飛行器 438
8．10 微型衛星 454
複習思考題 463
參考文獻 464
第9章 微機械和微機電系統的製造 466
9．1 微機械與微機電系統的製造技術簡介 467
9．2 積體電路的製造過程簡介 470
9．3 微機械器件的薄膜製造技術 474
9．4 光刻工藝中的曝光技術 478
9．5 光刻工藝中的刻蝕技術和立體光刻技術 490
9．6 LIGA技術 497
9．7 犧牲層工藝技術 508
9．8 微器件基板的鍵合技術 512
9．9 精密微機械加工和特種加工等在微機電系統製造中的套用 520
複習思考題 534
參考文獻 535
附錄 537
附錄1 中國納米科技至2050年的發展目標和可能取得的重要突破 537
附錄2 中國至2050年納米科技發展路線圖 542
名詞索引
