定義:納米機械學就是以微型機械及其系統的設計為目標,研究設計過程中的思維活動,各組成單元的工作原理和設計理論與方法,並對該系統進行功能+綜合和定量描述其性能的...
《納米尺度幾何量和機械量測量技術》在總結作者科研工作的基礎上,較全面地對納米尺度線寬(CD)測量,納米尺度邊緣粗糙度(LER)測量,納米尺度微力、楊氏模量和剛度測量...