《納米尺度薄膜破壞機理的實驗研究》是依託天津大學，由王世斌擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：納米尺度薄膜破壞機理的實驗研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：王世斌
- 依託單位：天津大學
- 批准號：10372069
- 申請代碼：A0812
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2004-01-01 至 2006-12-31
- 支持經費：35（萬元）
項目摘要
採用離子濺射技術，製作兩類典型的薄膜/基底試樣。利用X射線衍射測量薄膜中的殘餘應力分布、薄膜的彈性模量和泊松比。針對原子力顯微鏡AFM存在的像素點飄移、灰度波動、掃描時間長等缺陷，將機率最相似理論和小波分析引入到圖像處理中，避開灰度運算，直接分析隨機信息和頻率信息。開發適用於AFM圖像的應變分析技術。在外加應力和殘餘應力的作用下，在納米尺度上，研究薄膜的力學性能及微結構的變化。解決大視場內的裂紋搜尋和小視場內單裂紋的跟蹤。確定單裂紋紋尖場的應變分布，進行群裂紋的統計信息分析。在壓應力場和殘餘應力場作用下，定量地測定屈曲擴展前沿的應變場和薄膜屈曲部分的三維形貌及演化過程。定量分析殘餘應力、晶粒尺寸、微觀組織、薄膜厚度、材料常數等與材料破壞形式之間的關係。對薄膜斷裂過程和薄膜屈曲過程進行有限元模擬。該項研究將進一步揭示薄膜斷裂和屈曲的形成及演化機理。為構造新的薄膜斷裂和屈曲損傷模型提供參考。
