納米定位與掃描平台術語

《納米定位與掃描平台術語》是2020年11月1日實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：納米定位與掃描平台術語
• 外文名：Terminology for nano positioning and scaning stage
• 標準號：GB/T 38616-2020
• 中國標準分類號：N10

編制進程

2020年4月28日，《納米定位與掃描平台術語》發布。

2020年11月1日，《納米定位與掃描平台術語》實施。

起草工作

主要起草單位：瀋陽建築大學、廣東工業大學、蘇州昊通儀器科技有限公司、三英精控（天津）儀器設備有限公司、中國計量科學研究院、瀋陽理工大學。

主要起草人：須穎、戴敬、施玉書、賈靜、王賀、安冬、邵萌、戴超、文杰。