納米壓印

納米壓印是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的工藝試驗儀器，於2015年06月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：納米壓印
• 產地：瑞典
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科
• 啟用日期：2015年06月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

最高溫度200℃；最大氣壓達70bar；UV波長200nm-1000nm；樣品最大尺寸6英寸；樣品+模具總厚度需＜2mm；最小可加工尺寸50nm,殘膠＜20nm,深寬比小於5。

主要功能

微納米尺度圖形結構的快速複製和轉移；具有高解析度、高產量、低成本的優點；可輕易製作3D立體結構之微影刻蝕技術；高分子材料直接壓印成形，避免長時間或大範圍之刻蝕步驟；可簡單的製作出高深寬比的結構。此設備還採用了單面硬襯墊氣壓軟壓技術、IPS技術、STU技術，增加壓力均勻性，延長模板壽命延長，提升圖形解析度。相關套用包括量子磁碟、生物感測器微陣列、微流體通道、光子晶體、GaAs量子元件等。