《納秒強脈衝電子束產生瞬態電漿與薄膜沉積》是依託蘭州大學，由江興流擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：納秒強脈衝電子束產生瞬態電漿與薄膜沉積
- 依託單位：蘭州大學
- 項目負責人：江興流
- 項目類別：面上項目
- 批准號：19275020
- 申請代碼：A2701
- 負責人職稱：研究員
- 研究期限：1993-01-01 至 1995-12-31
- 支持經費：5.5（萬元）
項目摘要
多極板贗大花放電室在直流電壓作用下，能產生納秒強脈衝電子束，這種高功率密度，高重複頻率的脈衝電子束與靶物質相互作用，將產生含有載能團簇的瞬態高溫電漿。基於這一原理，本課題組在國際上率先開發了一種薄膜沉積的新方法，該方法兼有雷射燒蝕法、離子束輔助沉積法和團簇沉積法的特點，又有許多獨特之處，經過多年的理論和實驗研究，證明這是一種能人工設計和剪裁具有特殊功能的新型薄膜的先進方法，利用這種新型薄膜沉積方法，開展了各種類型，如：難熔金屬、高溫超導氧化物、鐵電材料、聚合物等材料的薄膜製備研究，受到國內外同行專家的廣泛重視，並且與國內外有關單位開展多方位合作，推動贗火花放電的理論與實驗研究，獲獎二項。
