紅外顯微技術

紅外光譜技術與顯 微技術相結合而產生的一種微量分析技術。即在通過顯微鏡 觀察被測樣品的外觀形態或物理微觀結構的基礎上直接測試 樣品某特定部位的化學結構,得到該微區物質的高質量的紅 外譜圖,譜圖尺寸與紅外或可見光波長在同一數量級上。有 不損傷試樣和非接觸式直接測量等特點,而且掃描速度快,采 樣量小,是一種非破壞性的過程分析方法,在晶體表面研究、 無定形半濘體和微晶質半導體研究等領域都有廣泛套用。

基本介紹

  • 中文名:紅外顯微技術
  • 類型:微量分析技術

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