從大氣壓下開始抽氣,並將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗抽泵。 ...
液環真空泵是用液體作工作介質的粗抽泵其中,用水作工作介質的叫水環真空泵,其他還可用油、硫酸及醋酸等作工作介質。工業上水環真空泵套用居多。...
對500L/s或更小的渦輪分子泵來說,可採用一台雙級旋片泵;1000L/s以上的渦輪分子泵則採用以機械泵為前級泵的羅茨泵機組。在壓力為100到150Pa時關閉粗抽閥,把...