等離子增強化學氣相鍍膜機

等離子增強化學氣相鍍膜機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2011年9月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：等離子增強化學氣相鍍膜機
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2011年9月23日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

用化學氣相沉積方法製備SiOx和SiNx薄膜，薄膜厚度均勻性優於5%。

主要功能

使氣體電離為電漿後反應沉積於基片上生成薄膜的真空鍍膜設備。