積體電路製造設備術語

《積體電路製造設備術語》是2022年5月1日實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：積體電路製造設備術語
• 外文名：Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment
• 標準類別：基礎
• 標準號：GB/T 40577-2021

編制進程

2021年10月11日，《積體電路製造設備術語》發布。

2022年5月1日，《積體電路製造設備術語》實施。

起草工作

主要起草單位：中國電子技術標準化研究院、浙江晶盛機電股份有限公司、中電科電子裝備集團有限公司、北京北方華創微電子裝備有限公司、中微半導體設備（上海）股份有限公司、上海微電子裝備（集團）股份有限公司、東莞市中鎵半導體科技有限公司、江蘇卓遠半導體有限公司。

主要起草人：張軍華、馮亞彬、曹可慰、曹建偉、裴會川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩紅、丁曉民、傅林堅、魏唯、田濤、劉英斌、李國平、王宏智。