積體電路用六氯乙矽烷

《積體電路用六氯乙矽烷》是2020年04月24日實施的一項行業標準。

基本介紹

• 中文名：積體電路用六氯乙矽烷
• 外文名： Hexachlorodisilane for integrated circuit
• 標準編號： T/ICMTIA 3—2020
• 發布日期： 2020年02月24日
• 實施日期：2020年04月24日

起草人

趙雄、萬燁、嚴大洲、林俊元、崔日、李軍、常欣、趙宇、張園園、郭樹虎、張嘯虎。

起草單位

洛陽中矽高科技有限公司、江蘇南大光電材料股份有限公司、江蘇雅克科技股份有限公司、中巨芯科技有限公司。

適用範圍

本標準適用於以多晶矽副產六氯乙矽烷為原料提純或化工合成的積體電路用六氯乙矽烷。積體電路用六氯乙矽烷主要用於半導體行業氧化矽膜、氮化矽膜的低溫低壓沉積工藝中，也是優良的矽氧烷前驅和光學纖維原料。

主要內容

本標準規定了積體電路用六氯乙矽烷的技術要求，檢測方法，包裝與運輸及安全的要求。其中，檢測方法涵蓋抽樣和判定原則、組分的測定和雜質元素含量的測定等內容。