《積體電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規範》是2019年10月10日實施的一項行業標準。
基本介紹
- 中文名：積體電路材料產業技術創新聯盟氣體基礎規範
- 外文名：The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
- 標準編號：T/ICMTIA 1—2019
- 發布日期：2019年04月17日
- 實施日期：2019年10月10日
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起草人
鄭秋艷，李翔宇，丁成，孫江濤，計燕秋，孫建。
起草單位
中國船舶重工集團公司第七一八研究所，江蘇南大光電材料股份有限公司，大連保稅區科利德化工科技開發有限公司。
適用範圍
本標準規範了積體電路製造用氣體的生產、研發和使用的管理要求及相關測試程式，是氣體生產管理和使用的指南。
技術內容
本標準規範了積體電路用氣體的檢測方法及檢驗報告的製作，包裝與存儲要求、安全和環保要求，以及生產過程的基礎管理要求等。
