程紹玉，中國科學院電漿物理研究所正高級工程師。 1987年，畢業於合肥教育學院物理系；1994年，在中國科學院電漿物理研究所獲工學碩士學位。先後在安徽省肥西縣新倉中學、安徽省肥西師範學校、中國科學院電漿物理研究所等單位從事教育、科研和管理工作。先後承擔國家火炬計畫項目、省級重大科技專項、省部產學研項目和粵港澳合作項目等，並獲得相關專利、軟體登記等智慧財產權。
個人簡介,研究方向,發表論文,
個人簡介
程紹玉，中國科學院電漿物理研究所正高級工程師。
研究方向
微波ECR電漿化學氣相沉積技術
發表論文
1．Shaoyu Cheng, Zhaoxing Ren, Studies of Si3N4 Films Grown by Microwave ECR-PCVD and Its Applications in Microelectronics Debice Packaging, Chinese Journal of Vacuum Science and Technology, 1998; 01: 72-75.
2．Shaoyu Cheng, Zhaoxing Ren, Rongqing Liang, Qingao Lv, Wei Liu, Zhaoyuan Ning, Preparation and Analysis of Si3N4 Film, Plasma Science &Technology, 2000; 2: 213-218.
