基本介紹
基本資料,教育背景,工作履歷,教科研及成果,研究領域,研究概況,獎勵與榮譽,
基本資料
教育背景
1998.09-2002.07 清華大學機械工程系工學學士
2002.08-2008.06 清華大學精密儀器與機械學系 工學博士
工作履歷
2008.07-2010.07，清華大學精密儀器與機械學系設計工程研究所 博士後
2010.08-2012.12，清華大學精密儀器與機械學系設計工程研究所 助理研究員
2013.01-現在 ，清華大學機械工程系設計工程研究所助理研究員
教科研及成果
研究領域
IC裝備多領域建模、工藝仿真與最佳化設計
機械設計理論與方法
研究概況
研究方向：以含工藝腔室的IC裝備與光伏製造裝備（如刻蝕機、PECVD、PVD、LPCVD及氧化擴散爐等）為研究載體，面向腔室結構設計與工藝最佳化需求，主要從事複雜機械系統及其關鍵零部件的多場耦合與多學科設計最佳化的研究工作。
研究內容：主要包括IC裝備工藝腔室建模、仿真與最佳化設計軟硬體平台的構建，工藝腔室流場、熱場、電漿、電磁場、化學反應的模擬仿真，以及面向腔室結構與工藝的多學科設計最佳化（MDO）等。
科研項目情況：曾負責中國博士後科學基金1項，現負責國家自然科學基金青年科學基金1項，摩擦學國家重點實驗室主任基金項目1項，及國家科技重大專項（02號IC裝備重大專項）課題1項。並作為主要完成人或技術骨幹，參與十五“863”IC裝備重大專項4項，02專項3項。
獎勵與榮譽
2009~2010年國家科學技術進步二等獎，清華大學排名第三，校內主要完成人。
