從陰極發射出來的自由電子,在電場力的作用下,向陽極作加速運動,在奔向陽極的途中與介質的中性質點發生碰撞,如果電子的運動速度足夠高,其動能大於中性質點的游離能時,便使中性質點游離為新的自由電子和正離子,這種游離過程稱碰撞游離。