磁控濺射設備通用技術條件

《磁控濺射設備通用技術條件》是1994年10月01日實施的一項行業標準。

基本介紹

• 中文名：磁控濺射設備通用技術條件
• 標準號：SJ/T 10478-1994
• 制修訂：制定
• 發布日期：1994-04-11
• 批准發布部門：電子工業部
• 實施日期：1994-10-01

備案信息

備案號：0062-1994。