《碳納米管介電阻擋器件的電離與氣敏特性》是依託上海交通大學，由徐東擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：碳納米管介電阻擋器件的電離與氣敏特性
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：徐東
- 依託單位：上海交通大學
- 批准號：60871032
- 申請代碼：F0123
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2009-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：30（萬元）
項目摘要
氣體感測器是一類在環境監測、國家安全等方面具有重大需求的器件，靈敏、快速、微型化、智慧型化是未來感測器的發展方向。本課題基於微納尺度電離效應和離化對氣體的快速敏感反應，研究一種新型的碳納米管介電阻擋放電（DBD）器件及其電離行為和氣體敏感特性。利用一維納米材料電場增強效應和介質空間電荷場限制離化效應，解決此類感測器存在的高電壓驅動和熱不穩定性問題。研究微納特徵尺度下離化產生和演變規律和電荷場作用機理，建立微間歇介質結構的氣體電離理論模型。設計適應於微納加工特點的側壁DBD器件結構，採用低溫電化學組合沉積方法解決微納結構製備的工藝兼容性問題，利用薄膜和微機械技術製備微納DBD離化器件，實現器件在低於10伏電壓下工作和多種氣體的定性、定量分辨。了解和掌握高氣壓條件下穩定低溫離化的約束條件和控制方式，氣體與離化電學特徵的敏感關係以及多參量耦合分辨的表征方法，對器件的套用特性進行評價。
