碳化矽光學反射鏡超精密加工的基礎理論與方法

基本介紹

• 書名：碳化矽光學反射鏡超精密加工的基礎理論與方法
• 作者：李聖怡
• 頁數：10,186頁
• 出版社：科學出版社 
• 出版時間：2014年

詳細信息

所有責任者： 李聖怡等著

標識號： ISBN:978-7-03-039110-0

出版、發行地： 北京

題名、責任者附註： 著者還有：戴一帆、康念輝、彭小強

關鍵字： 碳化矽---光學材料---反射鏡---超精加工

語種： Chinese 漢語

分類： 中圖分類:TH744

叢編題名： 微納製造的基礎研究學術著作叢書

載體形態： 10,186頁

摘要

本書重點介紹碳/碳化矽(C/SiC)、矽/碳化矽(Si/SiC)兩相塗層、化學氣相沉積碳化矽(CVD SiC)、反應燒結碳化矽(RB SiC)和燒結碳化矽(S SiC)等5種典型國產SiC光學材料光學面形加工的基礎理論和工藝。