硬面光掩模用鉻薄膜

《硬面光掩模用鉻薄膜》 是1996年8月1日實施的一項中國國家標準。

基本介紹

• 中文名：硬面光掩模用鉻薄膜
• 外文名：Chrome thin films for hard surface photomasks
• 標準號：GB/T 15870-1995
• 標準類別：產品

編制進程

1995年12月22日，《硬面光掩模用鉻薄膜》發布。

1996年8月1日，《硬面光掩模用鉻薄膜》實施。

起草工作

主要起草單位：長沙韶光微電子總公司 。