《矽片電阻率測定 擴展電阻探針法(GB/T 6617-2009)》測量儀器和環境增加了自動測量儀器的範圍和精度；對原測量程式進行全面修改；刪去測量結果計算。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準起草單位：南京國盛電子有限公司、寧波立立電子股份有限公司。本標準主要起草人：馬林寶、駱紅、劉培東、譚衛東、呂立平等。
基本介紹
- 書名：矽片電阻率測定 擴展電阻探針法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2010年1月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139584
- 外文名：Test Method for Measuring Resistivity of Silicon Wafer Using Spreading Resistance Probe
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：4頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《矽片電阻率測定 擴展電阻探針法(GB/T 6617-2009)》測量儀器和環境增加了自動測量儀器的範圍和精度；對原測量程式進行全面修改；刪去測量結果計算。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準起草單位：南京國盛電子有限公司、寧波立立電子股份有限公司。本標準主要起草人：馬林寶、駱紅、劉培東、譚衛東、呂立平等。
