《矽晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法(GB/T 1554-2009)》代替GB/T 1554—1995《矽晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法》。本標準的附錄A為資料性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準起草單位：峨嵋半導體材料廠。本標準主要起草人：何蘭英、王炎、張輝堅、劉陽。
基本介紹
- 書名：矽晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2010年1月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139553
- 外文名：Testing Method for Crystallographic Perfection of Silicon by Preferential Etch Techniques
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：18頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《矽晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法(GB/T 1554-2009)》由中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局，中國國家標準化管理委員發布。
