《矽拋光片表面質量目測檢驗方法(GB/T 6624-2009)》代替GB/T 6624—1995《矽拋光片表面質量目測檢驗方法》。本標準與原標準相比主要有如下變化：修改了高強度匯聚光源照度要求，由不小於16000 lx改為不小於230000 lx：增加了淨化室級別要求；擴大了照度計測量範圍為0 lx～330000 lx：增加了測量長度工具；更改檢測條件中光源與矽片之間的距離要求。
基本介紹
- 書名：矽拋光片表面質量目測檢驗方法
- 作者：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期：2010年1月1日
- 語種：簡體中文
- ISBN：155066139586
- 外文名：Standard Method for Measuring the Surface Quality of Polished Silicon Slices by Visual Inspection
- 出版社：中國標準出版社
- 頁數：2頁
- 開本：16
- 品牌：北京勁松建達科技圖書有限公司
《矽拋光片表面質量目測檢驗方法(GB/T 6624-2009)》由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準主要起草單位：上海合晶矽材料有限公司。本標準主要起草人：徐新華、王珍。本標準所替代標準的歷次版本發布情況為：—GB/T 6624—1986、GB/T 6624—1995。
