《矽基鈮酸鋰光電信息功能薄膜的研究》是依託浙江大學，由何軍輝擔任項目負責人的重大研究計畫。
基本介紹
- 中文名：矽基鈮酸鋰光電信息功能薄膜的研究
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：何軍輝
- 項目類別：重大研究計畫
- 批准號：90101009
- 申請代碼：F0401
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：24（萬元）
項目摘要
利用準分子脈衝雷射沉積技術在單晶矽襯底上外延生長具有C軸取向的鈮酸鋰薄膜，探索具杏帕脊獠ǖ夾閱艿謀∧さ淖羆焉ぬ跫?利用表面物理的技術手段對矽基鈮酸鋰薄膜的表面形貌、結晶形態及化學組成進行系統的研究，從而探明影響薄膜光波導性能的關鍵因素。此項研究對於光纖通信領域中矽基鈮酸鋰薄膜光波導器件的研製具有十分重要的奠基作用。
