《矽基氮化鎵光電探測器的多層異質外延生長研究 StudiesonPlasmaAssistedMol》是2020年江蘇大學出版社出版的圖書，作者是鄭益。
基本介紹
- 中文名：矽基氮化鎵光電探測器的多層異質外延生長研究 StudiesonPlasmaAssistedMol
- 作者：鄭益
- 出版社：江蘇大學出版社
- 出版時間：2020年7月1日
- 開本：32 開
- ISBN：9787568414241
內容簡介
本書為英文圖書，研究了氮化鋁緩衝層對氮化鎵外延層表面形貌和晶體質量的影響，討論了氮化鎵異質外延生長中鎵擴散到矽襯底中並溶解形成鎵—矽合金的途徑，很終經過最佳化得以實現利用等離子輔助分子束外延在矽（111）襯底上生長出無微晶的光滑氮化鎵外延層。作者在最佳化過程中發現了非晶氮化矽薄層在鎵/矽擴散中的阻擋緩衝作用，並利用此緩衝層最佳化了氮化鋁鎵的外延生長，很終實現了總厚度高達1.4μm氮化鎵和氮化鋁鎵無裂紋外延層的生長。作者在研究中，利用最佳化生長的外延層，成功地在矽襯底上生長了套用於紫外光電探測器的多層結構，並詳細研究了器件尺寸對紫外光回響性的影響；利用最佳化的紫外探測器機構，獲得了套用於紫外/紅外雙波段光電探測器的多層結構並取得了0.01 A/W紫外光電回響和在4.52μm波長峰值上的近紅外光電回響。書稿對這些研究過程與結果做了學理性闡釋。
