矽基射頻微機械集成聲路感測器研究

矽基射頻微機械集成聲路感測器研究

《矽基射頻微機械集成聲路感測器研究》是依託浙江大學,由朱大中擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

  • 中文名:矽基射頻微機械集成聲路感測器研究
  • 依託單位:浙江大學
  • 項目負責人:朱大中
  • 項目類別:面上項目
  • 批准號:60176027
  • 申請代碼:F0404
  • 負責人職稱:教授
  • 研究期限:2002-01-01 至 2004-12-31
  • 支持經費:20(萬元)
項目摘要
研究矽基氧化鋅壓電薄膜材料上帶有微機械結構和角媒層被測物質沉積區的射頻集成聲路感測器。具有Y型參考臂和測量臂雙輸出聲路以進行測量信號與標準信號的比較和運算。並有分斬薝型槽隔離結構和聚醯亞胺吸聲結構以減少寄生反射波影響。角媒物質吸收被測物質產生質量沉積效應使集成聲路本徵頻率變化來測定其組份。為新型射頻集成聲路感測器。

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