《矽基光波導調製技術及其光開關陣列的研究》是依託西安電子科技大學，由趙策洲擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：矽基光波導調製技術及其光開關陣列的研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：趙策洲
- 依託單位：西安電子科技大學
- 批准號：69607004
- 申請代碼：F0502
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
- 支持經費：9（萬元）
中文摘要
基於大截面單模脊形波導條件，全內反射和電漿色散效應，通過結構參數和工藝參數的設計和全內反射與無間距定向耦合1×2或2×2開關單元的最佳化，採用矽MOS常規工藝和注氧隔離（SIMOX SOI）材料的外延工藝，已在注氧隔離材料上研製出1×4和4×4光波導電光調節器制開關陣列。在測試波長為1.3微的條件下，通過半導體雷射器的單模光纖的端焦耦合的光信號輸入，紅外變像管和雙蹤示波器對模式特性和光場分布的監測，採用電光調製技術，測得的SOI光波導開關陣列的性能指標如下：插入損耗為8分貝，波導傳輸損耗為每厘米0.57分貝，串音為一18分貝，調製電流為150毫安，調製電壓為2.8伏，調製頻率為1.2兆赫茲。
